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电子特气气体纯化的影响因素
2020-02-03
电子特气气体纯化的影响因素1)气体的分离和提纯。电子特气的分离和提纯方法原理上可分为精馏分离、分子筛吸附分离以及膜分离三大类,在实际提纯分离过程中,为了达到更好的分离效率,往往会利用多种分离方法进行组合,工艺更为复杂。2)气体杂质检测和监控
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气体纯化分类及生产工序
2020-02-02
气体纯化分类及生产工序特种气体的分类方式很多种,例如按照气体本身化学成分可分为:硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉
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气体纯化的变压吸附技术介绍
2020-02-01
气体纯化的变压吸附技术介绍1.什么叫吸附?当气体分子运动到固体表面上时,由于固体表面原子剩余引力的作用,气体中的一些分子便会暂时停留在固体表面上,这些分子在固体表面上的浓度增大,这种现象称为气体分子在固体表面上的吸附。吸附物质的固体称为吸附
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